▒ 모 델 ▒
Leica EM ACE600
▒ 상세정보 ▒
■ 기기의 특성
전자현미경 관찰 및 분석을 위한 시편 표면 위에 금속 및 카본코팅을 하는 장비로서 전자현미경 분석 전 Ir, Pt, C 등을 코팅하여 시편 위에 전도성 막 (또는 층)을 수 nm~mm 이하로 코팅함으로서 전자 빔에 의한 시편의 열적 손상을 방지 하고 Charging 방지 및 SE/BSE Signal 증폭의 목적으로 사용함.
■기기의 성능
1) Sputter 전류조절 범위 : 15-150 mA, 연속조절가능
2) Glow discharge 전류조절 범위 : 5-15 mA, 연속조절가능
3) 최대진공 : ≤2ⅹ10-6 mbar
4) Working distance : min. 30mm, max. 100mm
5) Motorized stage - 3축 (회전, 높낮이, 기울기)을 터치스크린 조작으로 모터에 의한 자동 조절 - 직경 104mm 테이블, 25 standard SEM Specimen mounts with Ø3.2mm pin
6) Foil target 규격 : 지름 54mm, 두께 최대 1mm
7) Carbon rod : 3 mm 지름
8) 코팅시간 : 1 s ~ 1800 s
9) 코팅두께 : 1 nm ~ 1000 nm
10) 코팅두께 측정장치 내장 : (QSG-quartz crystal measurement) QSG 해상도 : one decimal (0.1 nm accuracy), includes 10 crystals
1. "교내이용자"란 강원대학교 소속 교수, 직원, 강사, 학생을 말한다.
2. "교외이용자"란 교내이용자 이외의 자를 말한다.
| 구분 | 항목 | 단위 | 교외 | 교내 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
|
분석의뢰 |
시편코팅 | 회 | 12,000 | 8,000 | |
|
직접사용 |
시편코팅 | 회 | 12,000 | 8,000 |
