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탐침을 이용하여 물질표면의 물리화학적 구조에 대한 정보를 얻을 수 있는 기기를 통칭 SPM이라고 한다. 이 SPM은 기능에 따라 여러가지 다른 이름으로 불리며 대표적인 예로 STM, AFM, MFM등이 있다. AFM은 시료의 표면을 처리하지 않고 관찰할 수 있는 장점이 있으며, 특히 전기를 통하지 않는 부도체를 포함하여 수용액상의 고체물질의 표면도 관찰이 가능하므로, 각종 생물학적 시료를 포함한 표면이 유연한 시료의 관찰에 용이하다. STM과 AFM은 팁이라고 부르는 작고 날카로운 검침을 물질표면에 2차원적으로 주사(Scanning)하여 3차원적인 표면정보를 얻는다. 이처럼 검침을 이용하여 표면을 관찰하는 방법을 통칭하여 SPM(scanning probe microscopy)이라 부른다. STM과 AFM은 물질표면의 구조에 대한 입체적인 정보뿐만 아니라 Å 단위까지의 표면에 원자 배치를 비교적 간단한 방법으로 파악할 수 있다. 따라서, 물질의 표면을 원자단위까지 관찰하는 것이 가능한, 지금까지 개발된 가장 진보된 SPM방법들이다.

* 규격 및 모델

· 제작사 : Digital Instrument
· 모델명 : Nano Scope Multimode
· Contact mode Atomic Force Microscopy (AFM)
· Non Contact AFM
· Tapping mode AFM
· Magnetic Force Microscopy(MFM)
· Lateral Force Microscopy(LFM)
· Scanning Tunneling Microscopy(STM)

* 응용분야

반도체 표면 분석, 하드 디스크, 천연 광물 표면 분석, 폴리머 표면분석