■ 제작사/모델/생산국 ■
Thermo Scientific, K Alpha+, U.K.
일정한 에너지의 광자를 원자나 분자에 쬐면 들뜬 이온과 광전자가 발생한다. 이때 방출된 광전자의 운동에너지는 분석기와 검출기에서 측정되는데 조사된 에너지에서 검출된 광전자의 운동에너지와 일함수 값을 뺀 값이 코어 준위의 결합에너지가 된다. 이 결합에너지는 원자의 고유한 값을 갖기 때문에 표면에서 방출되는 광전자의 스펙트럼을 관측함으로써 표면의 조성, 화학적 결합상태 및 구성원소를 정량 분석할 수 있다.
■ 기기특성 / 용도 ■
Point 분석, Mapping, Depth profile
■ 기계의성능 ■
1. Mean diameter : 250mm or bigger
2. Min. energy step size : 3 meV or lower
3. Ultimate Energy resolution (of Ag 3d5/2 peak) : < 0.5 eV FWHM
4. Ultimate spatial resolution : < 30 micro m, by knife edge method
5. XPS on Insulators : C 1s energy resolution (eV) : < 0.85 eV
6. Max. Sensitivity at 1eV FWHM on Ag3d5, at 400 micro m : 2,000,000 cps, or higher
7. Anode material : Al
8. Ultimate vacuum : 5×10-9 mbar or better
9. Energy range : 100 eV to 4 keV or equivalent
10. Ion energy 3 keV, Beam current 3.5 micro A, Spot size < 500 micro m or equivalent
11. Ion energy 200 eV, Beam current 1 micro A, Spot size < 1,000 micro m or equivalent
# 응용분야
1. 금속재료의 표면산화상태, 부식상태, 부동태 피막, 내식성 등의 구조 해석
2. 반도체 기술 개발을 위한 여러 가지 실험조건에 의한 표면, 계면 상태 규명
3. 무기산화물, 촉매, 세라믹스 등의 산화상태
4. 금속표면에서 가스의 흡착 및 탈착 연구
5. 고분자 복합재료 연구
1. "교내이용자"란 강원대학교 소속 교수, 직원, 강사, 학생을 말한다.
2. "교외이용자"란 교내이용자 이외의 자를 말한다.
| 구분 | 항목 | 단위 | 교외 | 교내 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
|
분석의뢰 |
일반분석(5원소기준) | 시료 | 60,000 | 40,000 | |
| 일반분석(원소추가) | 원소 | 10,000 | 10,000 | ||
| Depth Profile(3원소기준) | 시료 | 150,000 | 100,000 | ||
| Depth profile(원소추가) | 원소 | 30,000 | 30,000 | ||
| Ar sputtering | 회 | 10,000 | 10,000 | ||
| 데이터 피팅 | 원소 | 5,000 | 5,000 | ||
|
직접사용 |
일반분석 | 30분 | 15,000 | ||
| Depth Profile | 30분 | 20,000 |
